微波化學氣相沉積爐
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產品摘要
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產品特點：
1. 才用純微波加熱或混合加熱方式，可加熱包括金屬在內的任何材料，
2. 升溫速率快，智能控溫，可分段設置，控溫精度高，熱慣性小。此管式爐可同時加熱多個溫區，且加熱區長度可調。
3. 可通各種氣氛，抽真空有機械泵、擴撒泵和分子泵，可達10-3Pa真空狀態。
4、爐體采用不銹鋼密封法蘭（鉸鏈結構），耐高溫、耐腐蝕；
5、保護管采用耐高溫合金管 ，氣管采用卡套或VCR接口，安裝方便；
6、爐體配有自動冷卻風扇，降低溫度；
8、真空系統：機械泵 擴散泵和分子泵，真空密度計
9、可通過電腦全程監控和調試；
產品參數：
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型號/model |
WBMW-QXCJ4 |
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可加熱材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波頻率 |
2.45GHZ±50MHz |
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加熱方式 |
純微波加熱、傳統電加熱、混合加熱 |
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大功率/KW |
4 (功率可調) |
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溫度測試元件 |
微波場傳感器 |
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控溫精度/℃ |
±2 |
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加熱管材質 |
石英管 |
高溫合金管 |
剛玉管 |
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加熱溫度/℃ |
1200℃ |
1200℃ |
1600℃ |
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管徑(外徑/內經X長度)/mm |
∅45/∅35×1200，可選配，大外徑∅60mm |
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加熱速度（高） |
≦200 |
升溫速率不限 |
≦50 |
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恒溫區長度 |
標配恒溫區長度10mm，恒溫去長度10mm～990mm以上可選 |
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溫區 |
可多溫區同時加熱 |
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氣路法蘭 |
不銹鋼法蘭 |
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質量流量控制 |
美國Alicat質量流量&控制器、七星華創質量流量&控制器 氣柜、氣路及各類閥門，可配套計算機自動控制系統及軟件 |
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氣路數量 |
2路或3路 |
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流量范圍 |
0-1SLM(標準升/分，可選配）氮氣標定 |
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精度 |
±0.2%F.S |
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響應時間 |
≤1sec |
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工作壓力 |
進氣壓力0.05-0.35Mpa(表壓力），流量規格≤10SLM |
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系統連接方式 |
采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀 |
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規格 |
高真空 |
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系統真空范圍 |
標準大氣壓～10-3Pa |
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真空泵 |
簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭 10-1Pa真空用高品質機械泵及真空計 10-2Pa真空用高品質機械泵、擴散泵及真空計 10-3Pa真空用高品質機械泵、分子泵及真空計 |
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爐腔尺寸/mm |
700X350X530 |
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加熱腔(標配) |
0.5-3L 2個 |
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加熱腔大小 |
0.94L，2.12L，3.8L |
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升溫速率(標配) |
0～990℃/min可根據實際任意設定，可編程、分段加熱 |
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外型尺寸/mm |
1500´750´1560 |
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微波泄漏/ mW/㎝ |
≤0.4 |
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提供相關配件 |
高溫手套×1、中文說明書×1 |
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保質期 |
整機保修1年 |
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