微波等離子體化學氣相沉積爐

2021-08-20 17:30:07 441

產品摘要

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產品應用：該款具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內部電極污染等性能，微波等離子體在材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學氣相沉積、刻蝕以及甲烷轉化制氫、長余輝發光材料、陶瓷燒結、碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領域有廣泛應用。

產品特點：

1. 垂直反應器的設計可使等離子密度高；對稱的微波發生裝置，使產生的等離子環境更均勻。

2. 微波等離子體氣相沉積爐的諧振腔內沒有內部電極,可以避免電極放電所產生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產生等離子體密度高、區域大,穩定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。

技術參數：

型號/model	WBMW-DLZ3
可加熱材料	非易燃易爆的任何材料
微波頻率	2.45GHZ±50MHz
加熱方式	純微波加熱
大功率/KW	3 (功率可調)
高工作溫度/℃	1200
長期工作溫度/℃	≤199
溫度測試元件	微波場傳感器
控溫精度/℃	±2
石英管尺寸(外徑/內經X長度)/mm	φ102/φ92x990
真空系統配置（可選）	簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭； 10-1Pa真空用高品質機械泵及真空計； 10-2Pa真空用高品質機械泵、擴散泵及真空計； 10-3Pa真空用高品質機械泵、分子泵及真空計；
升溫速率(標配)	50℃/min 可分段加熱 300℃/min
外型尺寸(長x寬x高)/mm	990´750´1830
微波泄漏量/ mW/㎝	≤0.4
提供相關配件	高溫手套×1、中文說明書×1
保質期	整機保修1年